비씨엔씨, 램리서치 디자인 2건 무효화 실패
[지디넷코리아]램리서치와 반도체 공정용 에지 링 특허·디자인 등 산업재산권 분쟁 중인 비씨엔씨가 램리서치 디자인 2건 무효화에 실패했다. 비씨엔씨는 램리서치 특허 3건을 상대로 청구한 무효심판 3건 중 2건은 무효, 1건은 유효라는 판단을 받은 상태다. 링은 반도체 공정 식각장비 내부에 장착하는 실리콘 부품이다. 식각장비 내부에서 생성된 플라스마가 웨이퍼 바깥으로 퍼지지 않도록 물리적으로 가두는 역할을 한다. 링은 주로 내플라즈마·내열성이 우수한 쿼츠 재질을 사용한다.14일 업계에 따르면 특허심판원은 지난 5월 하순 램리서치의 디자인 '반도체 제조장치용 에지 링'(등록번호 1026248, 1026250) 2건은 유효하다고 판단(심결)했다. 비씨엔씨가 지난 2024년 11월 해당 디자인 2건이 무효라며…